超純水：既將水中的導電介質（zhì）幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質、氣體及有（yǒu）機物均去除至很低程度（dù）的水。電阻率大（dà）18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。這需要用到水處理技術。

       早（zǎo）期超純水的需求主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業，水質要求（qiú）相對較低，其製備隻要采用離子（zǐ）交換，該方法的（de）主（zhǔ）要缺點（diǎn）是化學藥（yào）劑再（zài）生，既麻煩又不經濟，而且由（yóu）於強行樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中（zhōng）TOC含（hán）量高，隨著半導體工業法杖，對超純水質量要（yào）求提高，從而大（dà）大的推動了純水技術的發展（zhǎn），到了上個世紀末，膜技術得到了廣泛的（de）應用，微濾，超濾，電（diàn）滲析和反滲透技術先進的水處理技術得到了飛速的發展，膜法製備純水取代（dài）了傳統的離子交換器係統，解決（jué）了TOC問題，滿足了電子行業對純水質量的要求。

     傳（chuán）統超純水製備工藝流程:原水—多介質過濾器—活性炭（tàn）過濾器—一級除鹽—混床—超純水

    膜法超純水製備工藝流程:原水—超濾—反滲透—EDI—超純水

    在膜法工藝（yì）中，超（chāo）濾，微（wēi）濾（lǜ）替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾器，除去水中的懸浮物膠體和有機物，降低濁度，SDI，COD等，可以（yǐ）實現反滲（shèn）透裝置對汙（wū）水回用的安全，運行，以反滲透替代離子交換器脫鹽，進（jìn）一（yī）步除去有機物，膠體，細等雜誌，可以保證反（fǎn）滲透出（chū）水滿（mǎn）足EDI進水的要（yào）求，以EDI代替混床深度脫鹽，利用電而不是酸堿（jiǎn）對樹脂再生，避免了二次汙染。