超純水：既將水中的導電介質幾乎完全去除，又將水中不離解的膠（jiāo）體物（wù）質、氣體及有機物均去除至很低程度的（de）水。電阻率大18MΩ*cm，或（huò）接近18.3MΩ*cm極限值。這需要用（yòng）到水處理技術（shù）。

       早期（qī）超純水的需求主要是來自發電、醫藥化工、造紙等行業（yè），水質要求相對較低，其製備隻要采用離（lí）子交換，該方法的主要缺點是化學（xué）藥劑再生（shēng），既麻煩又（yòu）不經濟，而且由於強行（háng）樹脂對一般有機分子除去效果差，出水中TOC含量高，隨著半導體工業法杖，對超純水質量（liàng）要求提高，從而大大的推動了（le）純水（shuǐ）技術（shù）的發展，到了上個世紀末，膜技術（shù）得到了廣泛的應用，微濾，超（chāo）濾，電滲析和（hé）反滲透技術先進的水處理技術得到了飛速的發展，膜法製備純水取代了傳統的離子交換器係統，解（jiě）決了TOC問（wèn）題（tí），滿足了電子行業（yè）對純水質量的要求。

     傳統超純水製備工藝流程:原水—多介質過濾器—活性炭過濾（lǜ）器—一級除鹽（yán）—混床—超純水

    膜法超純（chún）水製備工（gōng）藝（yì）流程:原水—超濾—反滲透—EDI—超純水

    在膜法工藝（yì）中，超濾，微濾替代澄清，石英砂過濾器，活性炭過濾（lǜ）器，除去水（shuǐ）中的懸浮物膠體和有（yǒu）機物，降低濁度，SDI，COD等，可以實現反滲透（tòu）裝置對汙水回用的安全，運行（háng），以反滲透（tòu）替代離子交換（huàn）器脫鹽，進一步除去有機物，膠體，細等雜誌，可以保證反滲透出水滿足（zú）EDI進水的要求，以EDI代（dài）替混床深度脫鹽，利用電而（ér）不是酸堿對樹脂再生，避免了二次汙染。